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國立高雄科技大學 半導體工程系
半導體製程技能與實務培訓實驗室
實驗室全景
實驗室儀器設備
冷卻水機 |
蒸鍍機 |
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用於快速熱退火及蒸鍍機機台冷卻使用。 |
將所需材料蒸鍍至基板上,形成薄膜電極。 |
快速熱退火(RTA) |
旋轉塗佈機(Spin Coater) |
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用極快的升溫,可將材料表面結構重組、缺陷的減少。 |
將光阻劑、溶液均勻旋開至晶片表面。 |
曝光機 |
晶片清洗台 |
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黃光室光罩曝光機經由曝光機所發出紫外光對晶片上光阻照射,可將光罩圖騰轉譯至晶片。 |
防止化學藥品氣體外洩,且可抵禦震動使得藥品不會互相碰撞造成碎裂。 |
洗滌塔控制箱 |
自走式蝕刻機 |
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藉由化學作用,從ALD排出廢氣中轉移至吸收液中,而達到空氣淨化。 |
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