國立高雄科技大學 半導體工程系
半導體光電磊晶材料暨元件實驗
Semiconductor Epitaxial Materials and Devices Laboratory
實驗室指導教授:張永昇 老師
實驗室位置:楠梓校區致遠樓3409實驗室
實驗室電話:(07)361-7141轉23368
實驗室簡介
本實驗室具備半導體液相磊晶成長設備(Liquid Phase Epitaxy),可藉以磊晶成長半導體於同質(Homo Epitaxy)或異質(Hetero Epitaxy)基板上。同質磊晶可形成薄膜,用於微電子元件如MOSFET或光電元件如LED、LD之研發;異質磊晶則可形成量子點(Quantum Dot),可進而藉以研發高效率之光電元件如Solar Cell、LED、LD等。
實驗室全景
研究領域
1.GaAs on Si
2.Ge Quantum Dots on Si
3.Epitaxy of Compound semiconductors on Si
4.Ⅲ-Ⅴ Optoelectronic Devices on Si
5.Ⅲ-Ⅴ&Ⅳ based Electronic Devices on Si
實驗室儀器設備
液相磊晶成長設備 |
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實驗成果
本實驗室迄今已利用液相磊晶成長設備成功研發出GaAs on Si、Ge Quantum Dots on Si等光電子及微電子磊晶材料,續將用以進行光電子及微電子元件之研發。