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國立高雄科技大學　半導體工程系

光電半導體薄膜實驗室

Optoelectronic Semiconductor Thin Film Laboratory

實驗室指導教授：葉旻彥老師

實驗室位置：楠梓校區大仁樓6406實驗室

實驗室電話：(07)361-7141轉23387

實驗室簡介

本實驗室是致力於研究半導體製程之研究，目前研究方面有光觸媒材料(如TiO2、NaTaO3等)、 CZTS太陽能薄膜電池、電子紡絲、螢光粉。

重視實驗課程，透過參與計畫，提升同學武獨立思考，研究規劃，實驗室同學間互動良好，互相學習，對於實驗室同學們的基本知識、實驗能力以及思考能力有所加強，本實驗是注重實務及學術研究，有助於同學們習得未來投入半導體業的相關知識及專業技能。

實驗室全景

研究領域

1.光觸媒材料(Ex：TiO2、NaTaO3)：將光觸媒材料用於淨化水質或降解甲基藍有機溶液，以及做成感測元件用以測試濕度以及氣體感測。

2.螢光粉：主要應用在 LED 上，LED 用於照明與顯示器，其優點低功耗、高亮度、壽命長、環保與無汞有害物質。

3.電子紡絲：電紡絲是藉由高分子材料在兩電極之間施以相當高的電位場，使溶液正負電荷分離並產生斥力迫使溶液型成液珠，隨著斥力增大液珠形成液柱，最終形成絲射出到收集板。

4.CZTS靶材用於製備薄膜太陽能電池：以銅鋅錫粉末混合成溶液進行退火形成粉末，以製備濺鍍機靶材，藉由濺鍍機來形成太陽能薄膜電池的薄膜基板。

實驗室儀器設備

高溫爐	烘箱

高溫燒結完成的sample	烘乾sample
壓靶器	研磨機

將sample壓製成靶材用以濺鍍用	使用鋯球將粉末磨成更細
三電極	電紡絲

機台簡介三電極：工作電極WE、輔助電極CE、參考電極RE。極化迴路：實現極化電流的變化與測量(WE&CE)。測量迴路：實現控制或測量極化電位的變化(WE&RE) 。	電紡絲是藉由高分子材料在兩電極之間施以相當高的電位場，使溶液正負電荷分離並產生斥力迫使溶液型成液珠，隨著斥力增大液珠形成液柱，最終形成絲射出到收集板。
濺鍍機	離心機

濺鍍是一種物理氣相沉積技術，指固體靶"target"中的原子被高能量離子（通常來自電漿體）撞擊而離開固體進入氣體的物理過程。被濺出的靶材料原子或分子沉積在晶片或玻璃上形成薄膜。	以高速旋轉產生的離心力，把樣品中不同沉降系數和密度質量的物質分離。
旋轉塗佈機	光譜分析儀

機台簡介旋轉塗佈是利用轉盤高速旋轉離心力，將基材上的塗料進行厚度均勻化的製程	記錄降解後的甲基藍光吸收度之儀器。
微量天秤

測量微量克數粉末