國立高雄科技大學 半導體工程系
光電元件製作、量測與應用電路實驗室
Photonics Device Laboratory for Fabrication , Measurement and Application Circuit
實驗室指導教授：楊奇達老師、陳玉鴻老師、張勝博老師
實驗室位置：楠梓校區大仁樓6405實驗室
實驗室電話：(07)361-7141轉23386
實驗室簡介
本實驗室主要是光電半導體元件之研究，實驗室設備有高溫爐、曝光機、電子鎗真空蒸鍍系統(E-Gun)、反應離子蝕刻系統(RIE)、快速熱退火(RTA)、表面輪廓儀、旋轉塗佈機和清洗室，所有儀器皆在無塵室操作，以提供一個完整的製程操作，這裡打造成無塵室來讓學生提早熟悉與業界設備接軌，有助於學生實務上之操作能力的提升並且順利與產業接軌。
實驗室提供C語言程式、Visual Studio、LabVIEW設計撰寫，電路設計Allegro PCB Designer、DXP，以及3D繪圖設計SolidWorks的環境，為了增加學生的實作經驗，因此實驗室模擬業界所需之技能來學習運作，以培養業界所需人才為目的。
實驗室全景
無塵室內部
研究領域
1.半導體/光電材料製作
2.半導體/光電元件製程
3.單晶片程式撰寫
4.應用電路製作
5.3D繪圖設計與輸出，完成品開發
實驗室儀器設備
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高溫爐 |
曝光機 |
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建構高溫環境完備P、N型材料擴散。 |
黃光室光罩曝光機經由曝光機所發出紫外光對晶片上光阻照射，可將光罩圖騰轉譯至晶片 |
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電子鎗真空蒸鍍系統(E-Gun) |
快速熱退火(RTA) |
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用電子束轟擊目標靶材，使晶片上形成一層薄膜。 |
用極快的升溫，可將材料表面結構重組、缺陷的減少。 |
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表面輪廓儀(Alpha-Step) |
旋轉塗佈機(Spin Coater) |
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1.表面粗糙度量測 2.表面輪廓量測。 |
將光阻劑、溶液均勻旋開至晶片表面。 |
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反應離子蝕刻系統(RIE) |
濺鍍機(sputter) |
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利用電漿體強化後的反應離子氣體轟擊目標材料，來達到刻蝕。 可蝕刻材料：光阻、二氧化矽、氮化矽 |
利用電漿正離子轟擊材料，將靶材原子擊出而濺射沉積於半導體晶片上而形成薄膜。 |
指導學生獲獎
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比賽名稱 |
獲獎名次 |
學生 |
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2018全國技專院校學生實務專題製作競賽成果展
作品名稱：智慧辨識混光鎖具 |
第三名 |
王鼎元、林伯儒、劉至庭、 張竣翔、張軒誌、許曾國瑋 |
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2017 台北國際發明展暨技術交易展
作品名稱：自動化光電量測平台 |
銀牌獎 |
王梓睿、魏上又、羅晉德、蕭名原、劉佩穎 |
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2016 美國匹茲堡發明展
作品名稱：光觸發的鑰匙與鎖具 |
銀牌獎 /特別獎 |
謝昀劭 |
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2015 首爾國際發明展
作品名稱：以光為媒介之電子鎖匙 |
發明大賞 特首獎 |
林峰正 |
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2014 全國技專校院學生實務專題製作競賽暨成果展-生技醫農類群
作品名稱：定置網漁業可攜式即時環境監測系統 |
第一名 |
林建誠、蔡青祐、許嗣皓 |
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2012 100學年度海洋工程學院實務專題競賽 作品名稱：同步電壓電流供應及檢測儀 |
優等 |
吳韋德、呂冠廷 |
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2012 100學年度海洋工程學院實務專題競賽 作品名稱：光鑰匙 |
佳作 |
蘇彥瑚、饒皓源、陸韋辰 |
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2010 98學年度海洋工程學院實務專題競賽 作品名稱：低耗電高亮度可調變閃爍多組光色之(水下集魚燈具二) |
佳作 |
李宜成、許仁誌 |
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2010 98學年度海洋工程學院實務專題競賽 作品名稱：利用InP化學蝕刻特性應用於通訊光檢測器 |
佳作 |
謝舒姍、張玉珊 |
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2007 南區技專校院師生產學合作實務專題製作競賽---海洋領域 作品名稱：低耗電高亮度可調變光色之(水下集魚燈具) |
亞軍 |
陳彥宏、蔡旻軒 |
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2004 臺灣區國民中學以上學校電腦化運動競技大賽---機器人相撲組 |
第三名 |
黃致瑋 |
實驗成果
2011年專題製作成果
低耗電高亮度可調變光色之<水下集魚燈具>
2012年專題製作成果
多變量光電元件量測裝置
2013年專題製作成果
以含銀化合物擴散於氧化鋅薄膜之導電性改善
陣列型寬波段光檢測器之量測
2014年專題製作成果
植物燈
應用於國際學生自製船模比賽之雷射遮斷計時系統
遙控機械手臂
2015年專題製作成果
以光為媒介之電子鎖匙
2016年專題製作成果
自動化光電量測平台
2017年專題製作成果
智慧辨識混光鎖具
專利
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專利/新品種名稱 |
專利類型 |
證書字號 |
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一種在矽化鎢與氮化矽上成長液相沈積二氧化矽之組成 |
發明專利 |
I159521 |
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雷射二極體之主動區層結構 |
發明專利 |
I292646 |
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高速雷射二極體之主動區層結構 |
發明專利 |
I295121 |
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多變量光電元件量測裝置 |
新型專利 |
M481411 |
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藍光感測器以及使用其之藍光檢測裝置 |
新型專利 |
M491827 |
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光鎖具結構及使用方法 |
發明專利 |
I487829 |
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自動化光電元件量測平台 |
新型專利 |
M549876 |
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智慧辨識混光鎖具及使用方法 |
發明專利 |
I664342 |
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Intelligent identification of mixed photonic lock structure and method thereof |
發明專利 |
美國發明申請號106143954 |
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無塵室風車過濾控制系統 |
新型專利 |
M565779 |
