修習「半導體製程設備實務學分學程」以下課程可獲聯電優先面試機會，同時也獲台積電半導體學程／設備工程學程採認；

一、半導體設備基礎技能實務-(四)2-4及114年暑假計畫型開班-半導體設備工程師實務技能培訓班(54小時，承認3學分)

本課程由聯電設備學院資深工程師／主管與半導體系老師授課培育半導體工程師所需具備的通用技能，經由親手傳授操作／維護半導體製程設備所需通用技能的培訓，讓學生動手實作能力經由教育訓練標準化、系統化，讓學生可以提早練好基本功，縮短未來進入半導體設備工作的新人學習曲線，確保習得符合未來工作的專業能力與自信心，最後搭乘遊覽車到南科聯電體驗無塵室。

課程內容包含：

包括馬達操控設定、常用各式感測器、基礎管件的組裝、基礎工具、常用儀表、基礎工牙、氣體流量計、化學過濾、LoadPort操作、真空幫浦與測漏操作等基礎技能。

二、半導體設備元件儀控系統實務-(四)5-7、(五)5-7

1. 學習國際通用之西門子可程式邏輯控制(PLC)進行實際模組控制、PLC儀控配線、故障排除、各式儀控元件功能
2. 以PLC程式進行加熱烤板PID溫度控制模組、X-Z-ϴ晶圓傳輸手臂儀控模組、黃光微影之光罩/晶片吸附水平間距儀控之曝光系統、具幫浦／真空計／流量計／氣動閥等真空系統儀控模組
3. 溫控烤板加熱線圈與測溫機構；晶圓傳輸手臂機構；曝光機之光罩吸附、晶片吸附與整平機構、對位系統等組裝；真空系統各元件機構組裝

影片：儀控實驗室介紹、加熱系統介紹、真空系統介紹、曝光系統介紹、晶片傳輸手臂介紹

儀控實驗室介紹

加熱系統介紹

真空系統介紹

曝光系統介紹

晶片傳輸手臂介紹

 

三、半導體設備真空系統實務-(二)2-4

1. 閱讀/查察真空系統／電漿真空系統各組件中英手冊：含各式真空計、閥門、貝洛管、法蘭、幫浦、RF電漿產生、氣體流量計、氣動閥、閘閥
2. 閱讀/查察真空系統／電漿真空系統設備拆解/組裝中英手冊：拆解真空系統並將幫浦、真空計、流量計、管路、氣動閥、破真空閥門、電漿電源系統、PLC邏輯程式控制器等組裝後，以人機介面操控建構真空系統
3. 閱讀/查察真空系統／電漿真空系統初級維修保養中英手冊，並實際培訓
4. 檢測真空系統／電漿真空系統測漏實做：氦氣測漏儀確認真空系統組裝無誤，查察並排除腔體滲漏機制
5. 檢測電漿產生器與電源供應器實務：針對電漿順向／反射功率查察、反射相位與阻抗匹配等

四、半導體製程設備實務培訓-(二)5-7

1. 閱讀/查察各式半導體設備中英手冊，並自行製作設備報告，考核通過後始得操作：濺鍍機、熱蒸鍍、原子層沉積系統、電漿化學氣相沉積系統、快速退火系統、曝光機、反應式離子蝕刻機、光阻塗佈及化學清洗櫃等
2. 依製程流程規劃完成半導體元件製作，並進行元件光電特性量測並製作報告

備註1：因學習順暢考量下，須同時修習「一、半導體設備基礎技能實務(週四第2-4節)」與二、「半導體設備元件儀控系統實務(週四第5-7 節)」；經審查發現未加選課者，學院將逕行辦理加選。

備註2：113-2有修習「二、半導體設備元件儀控系統實務(週五第5-7節)」學生可於114年6-7月暑假優先修習聯電業師的「半導體設備基礎技能實務」(可抵學期開課3學分)，並前往南科聯電參觀與體驗無塵室，以下為預計開課時間表

備註3：三、半導體設備真空系統實務與四、半導體製程設備實務培訓等二門課程須修畢依、半導體設備基礎技能實務與二、半導體設備元件儀控系統實務等二門課程始得修習。詳如本校半導體製程設備實務學分學程說明。

備註4：半導體製程設備實務學分學程，可抵免與修習半導體實務課程規劃舉例如下

半導體組-半導體工程系與電子工程系電子組

理工組-電機工程系、機電工程系、機械工程系、模具工程系

113-2高科大半導體相關學分學程